第436章 光刻机投入生产（2/2）

华为，深圳总部。

一栋没有挂牌的灰色建筑，从外面看，和普通写字楼没什么区别。

门口没有华为的标识，安保却严密得如同铁桶，进出需要人脸识别、虹膜验证和动态密码，三重认证。

建筑地下三层，是一间代号"昆仑"的秘密实验室。

实验室面积不大，约四百平方米，干净得近乎无菌。

恒温恒湿控制系统将温度精确维持在22±0.1℃，空气中的微粒数被控制在每立方米不超过100个。

实验室中央，一台银灰色的庞然大物静静矗立。

ASML最新一代极紫外光刻机，EUV。

这是江北在一个月前向龙国交付的第一台光刻机，经过拆卸、运输、重新组装和无数次调试后，它终于在这间地下实验室里运转了起来。

光刻机周围，十几名工程师围在一排监控屏幕前，屏幕上跳动着密密麻麻的数据流，曝光能量、晶圆对准精度、光刻胶厚度、数值孔径、焦深参数……

每一个数字都牵动着所有人的神经。

"流片开始。"项目负责人周博远深吸一口气，按下了启动键。

光刻机低沉地嗡鸣起来。

极紫外光以13.5纳米的波长，透过精密反射镜组，一层一层地将电路图案蚀刻在硅片上。

时间一分一秒地过去。

实验室里安静得只剩下设备运转的嗡嗡声和偶尔的键盘敲击声。

一个小时后。

第一片晶圆完成。

检测工程师赵琳将晶圆送入电子显微镜，开始逐区扫描检测。

屏幕上，芯片电路的结构图像一层层展开，如同在放大镜下观察一片精密的微缩森林。

赵琳的手指在键盘上飞快地敲击，统计着每一颗芯片的良品数据。

十分钟后，赵琳抬起头。

她的嘴唇微微颤了一下，"良品率……"赵琳声音有点发颤，"80.3%。"

实验室里安静了两秒，然后——

欢呼起来。

"成了！"

"80%！我们做到了！"

"天哪，80.3%！第一轮流片就到了80%！"

工程师们从座位上跳了起来，有人挥拳，有人鼓掌，有人紧紧拥抱在一起。

周博远站在原地，两眼死死盯着屏幕上的数字，愣了好几秒，然后缓缓地摘下眼镜，用衣袖擦了一下眼角。

80.3%。

芯片行业，超先进制程（2/3/5纳米）初期良品率在50%到70%之间属于可接受范围，稳定量产需要达到80%以上。

低于80%，意味着成本过高，难以盈利。

而他们，第一轮流片，就直接冲过了80%的大关。

这意味着什么？

意味着这台光刻机不仅运转正常，而且状态极佳。

意味着他们可以跳过漫长的良率爬坡阶段，直接进入量产准备。

意味着华为，有了自己的5纳米芯片制造能力。

周博远戴上眼镜，深吸了一口气，努力使自己平静下来："通知总部，昆仑项目第一阶段目标达成，5纳米制程，良品率80.3%，具备量产条件。"