第282章 华创真正的底牌(1/2)
梁景徽一身简约工装,眼底带着连日攻坚后的疲惫。
却藏着难以掩饰的滚烫光芒,手中紧紧攥着一叠厚重的技术验收报告与设备实测数据表。
每一页都标注着密密麻麻的专业参数、调试记录、性能校验结果。
作为华创半导体公司CEO,他算是最不被大家认可的。
因为没有任何成就在。
很多人把梁景徽当骗子,以为他就是这样当上子公司CEO的。
而公司也只有核心技术人才,才明白光刻机有多难。
知道梁景徽真的不容易。
过去大半年时间,他带领数十名顶尖技术人员,隐于幕后,日夜攻坚,扎根在枯燥精密的光刻技术研发中,只为突破国外数十年的技术封锁。
“苏总。”
梁景徽走到办公桌前,难掩激动,声音都带着一丝不易察觉的颤抖,这是技术攻坚者突破极限,圆梦时刻的由衷动容。
“验收结果全部出来了,数据百分百达标!”
苏诚抬眼,目光落在他手中的报告上,神色平静,沉稳问道:“全部达标?详细说说。”
梁景徽重重点头,将报告平铺在桌面,指尖精准点在核心参数栏,逐项汇报,底气十足的说着:
“我们自主复刻研发的193nArF光源干式步进扫描式光刻机,所有核心部件、光学系统、精密工作台、对准控制系统、激光光源模组,全部实现国产化自研自产。
无任何海外技术依赖,无任何进口零部件!
整机曝光精度、扫描稳定性、良品率、连续工作时长,全部对标海外同期商用主流设备。
关键参数甚至小幅超越,经过七十二小时不间断满负荷实测,设备运行稳定,线宽控制精准,完全具备量产使用条件。”
2007年的国内半导体行业,光刻机领域完全处于被卡脖子的被动局面。
国内仅有少数老旧光刻设备,精度落后,稳定性差。
高端193n级别光刻机完全被海外垄断,严禁对华出口,技术壁垒高到近乎无法逾越。
在此之前,国内无数科研院所,国企大厂投入巨资,耗时数年攻坚,始终无法突破193n光刻的核心技术瓶颈,只能在低端制程徘徊。
而华创,一家成立不足1年,以智能手机出圈的民营科技公司,悄无声息完成了国家级的技术突破。
这绝非简单的设备仿制,而是彻底吃透光学原理、精密机械控制、激光光源调校、光刻工艺适配的全套底层技术,是真正意义上的国产自主可控!
梁景徽深吸一口气,压下心中的激动,继续汇报后续规划,眼神无比坚定:
“而且我们团队在干式机型攻坚过程中,彻底吃透了193nArF光源的全套技术逻辑。基于现有技术积累,193nArF光源浸润式光刻机的技术路径已经完全打通,核心难点全部攻克!”
他简单解释其中的技术跨度,让苏诚清晰知晓突破的含金量:
“干式机型是以空气为介质,是193n光刻的基础版本。
而浸润式机型是在物镜与晶圆之间加入超纯水作为介质,利用水的高折射率压缩等效波长。
能大幅提升曝光分辨率,制程能力、精度上限、适配场景全面升级,是下一阶段高端制程的核心设备。
现在技术图纸、算法模型、工艺方案全部定稿,不存在任何技术盲区,只差整机装配与调试!
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