第133章光子载流芯片成功问世(1/2)
第二天一早,李亦辰在家吃过早点后,才缓缓开车来到公司。
进入三十一楼后,空气里弥漫着淡淡的臭氧味和特种冷却液的化学气味。
二十台众擎机器人安静地立在设备之间,深灰色的合金外壳线条流畅,关节处指示灯暗着,像休眠的士兵。
李亦辰走到楼层中央的控制台前,拉开椅子坐下。
控制台由三块巨大的曲面屏拼接而成,此刻漆黑一片。
他掏出手机,屏幕自动亮起,灵儿扎着双马尾的Q版形象跳了出来,像素风的大眼睛眨了眨。
“哥哥,所有设备自检完毕,运行状态正常。”灵儿的声音从手机扬声器里传出来,清脆里带着一丝电子音特有的空灵,“材料已经按照工艺流程顺序,存放在指定缓存区了。”
李亦辰点了点头。
他把手机放在控制台上,屏幕朝上。
“开始吧。”
几乎在他话音落下的同一瞬间。
控制台的三块曲面屏同时亮起。
瀑布般的数据流开始滚动,绿色的代码行以肉眼无法捕捉的速度刷新。
楼层里,二十台众擎机器人关节处的指示灯“嗡”地一下全部转成蓝色。
它们无声地启动,合金足部踩在防静电地板上,发出极其轻微的“哒”声。
第一台机器人移动到材料缓存区,机械臂精准地夹起一块高纯度硅锭。
硅锭在无影灯下泛着暗银色的金属光泽。
机器人转身,走向激光干涉定位平台。
平台上的夹具自动张开,将硅锭固定。
第二台、第三台机器人同步跟上,开始进行预处理工序——清洁、抛光、去除表面氧化层。
李亦辰靠在椅背上,看着屏幕上灵儿实时反馈的每一个参数。
温度、压力、浓度、时间……
所有数据都在预设的阈值内跳动。
他闭上眼。
脑子里那套完整的芯片制造工艺流程图,像烙印一样清晰。
从硅锭提纯,到晶圆切割,到光刻胶涂布,到离子注入,到金属互联层沉积……
每一步,每一个细节,每一个可能出错的节点。
全都印在他意识深处。
这不是学习,不是记忆。
是系统直接“灌”进去的、完整的、可以直接落地的生产技术。
他睁开眼。
控制台的屏幕上,第一片晶圆已经完成了初步处理,被机械臂转移到原子层沉积镀膜系统的腔室内。
腔室门无声合拢。
内部气压开始变化。
特种稀土材料在高温下汽化,通过精密喷嘴,以原子级的厚度均匀沉积在晶圆表面。
这一步是光子载流芯片的核心。
传统硅基芯片靠电子运动传递信息,而光子载流芯片,是利用特定材料在光激发下产生的“激子”作为信息载体。
载流子迁移率高出硅基芯片三个数量级。
发热量降到几乎可以忽略不计。
性能瓶颈被彻底打破。
李亦辰盯着屏幕上的实时监控画面。
腔室内,晶圆表面开始泛起一层极淡的、肉眼几乎无法察觉的荧光。
那是激子材料成功沉积的标志。
成了。
他搭在膝盖上的手指,微微蜷缩了一下。
一个星期。
接下来的一个星期,李亦辰没离开过这层楼。
饿了,纪嫣然会把饭盒送到电梯口。
困了,就裹着毯子在控制台旁边的行军床上眯一会儿。
手机偶尔会震动。
大部分是工作消息,他扫一眼就扔给灵儿处理。
只有一次,震动来自肖雨晴。
他划开屏幕。
肖雨晴发来好几条语音,点开,是她雀跃的声音,隔着听筒都能听出那股捡到宝的开心。
“小李子!我找到店铺了!就在陆家嘴国金中心旁边那条街上!”
“面积好大,有两百多平呢!”
“关键是租金!你猜多少钱一个月?”
“才两万!房东说空置太久急着租出去,降价招租!我运气太好了吧!”
“我已经签合同了,过两天就开始装修!”
“等开业的时候你一定要来啊!”
李亦辰听着那些语音,嘴角扯出一点弧度。
他当然不会告诉她,那间铺面现在的户主名字是他。
也不会告诉她,两万的月租,是他让纪嫣然安排的人“象征性”收的。
他回了条文字消息。
“恭喜捡漏。我这段时间有重要的事要忙,珠宝店的事得靠你自己了。”
“开业那天我保证到场。”
发完,他把手机扣在控制台上,继续盯着屏幕。
离子束刻蚀机正在对沉积完激子材料的晶圆进行图形化。
亚纳米级的离子束在精密电磁场的控制下,像最顶级的雕刻师,在晶圆表面刻画出复杂的电路图案。
这一步的精度要求高到变态。
传统光刻机需要用到多重曝光、浸润式技术,才能勉强达到几纳米的线宽。
而离子束刻蚀,直接跳过光刻步骤,用带电粒子轰击材料表面,进行物理刻蚀。
精度更高。
可控性更强。
最关键的是——完全绕开了光刻机。
李亦辰看着屏幕上实时反馈的刻蚀深度数据。
零点五纳米。
线宽零点五纳米。
沟槽深度三纳米。
误差控制在正负零点零一纳米以内。
完美。
又一个星期过去。
李亦辰下巴上的胡茬又冒了出来,眼眶底下那圈青黑比一个月前在三十二楼熬超算时还要深。
但他整个人却处在一种极度亢奋的状态里。
控制台屏幕上,最后一道工序——金属互联层沉积——正在进行。
银白色的金属材料通过溅射工艺,均匀覆盖在刻蚀好的沟槽内,形成芯片内部的导线网络。
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