第174章 首片三纳米下线（2/2）

凌晨两点十四分，晶圆离开清洗线。

电子束检测设备开始读取线宽、栅极结构和缺陷数量。第一组测试区达到三点零二纳米，第二组降到二点九八纳米。

三百二十个核心测试单元全部导通，标准区域没有检出结构缺陷。

梁启元扶住操作台，盯着屏幕上的良率结果。

他参加国内微电子项目三十多年，实验线曾因进口设备停供被迫拆组。

退休前，他还以为自已只能在论文里看到国产三纳米制程。

如今首片晶圆就放在检测台内，设备上的每个核心编号都来自国内。

检测主管把最终报告交给他。

“首片三纳米测试晶圆，电气性能全部通过。标准区域缺陷数为零，工艺窗口符合量产试制要求。”

厂房里先传出几声压低的哭声。

两名老工程师抱住对方，眼泪落在防护服上。年轻技术员围住检测台，又不敢碰晶圆传送盒。

顾振东坐回椅子，取下眼镜，拿纸擦了很久。

魏建国把总装验收表送到林霆面前。

“太公，林光一号整机测试通过。镜组、光源和双工件台都能进入连续运行，首片三纳米晶圆完成下线。”

林霆在验收表上签字，把短杖放到桌边。

“全厂发二十四个月绩效奖金，参与核心攻关的人员进入林氏微电子长期分红池。

三纳米试验线从今日转入量产验收，所有项目家属保障升到最高档。”

礼堂当夜划出二十八亿元专项奖金，二百七十名核心人员取得长期分红份额，普通装配工和洁净室维护人员也进入奖励名单。

庆祝活动结束后，厂区进入换班。

外聘粒子检测工程师宋祺提着工具箱走进三号更衣室，他来自诺德测控，负责洁净室颗粒传感器校准。

项目组审查过他的学历、账户和家庭关系，没有发现境外任职记录。

宋祺关上更衣柜，从工牌夹层取出一枚陶瓷记录片。

晶圆转移时，他借检查传感器的机会拍下检测台画面。

照片里能看清三纳米标识、设备编号和首片晶圆良率。

更衣室没有公共网络，宋祺把记录片插入剃须刀外形的短距发送器。信号借维护终端跳到厂区外的商业中转节点。

屏幕跳出发送完成。

宋祺刚要拔下记录片，手腕已经被人扣住。

工具箱落到长凳下，林飞将他压在更衣柜前，另一只手取走发送器。

“照片发完了？那就把收件人交出来。”